🚨光刻机突围倒计时！中国芯，要翻身？！

核心观点：国产光刻机突破在即，半导体产业链迎机遇

中信证券研报指出，国内对光刻机产业链的投资力度不断加大，有望推动国产高端光刻机的发展，进而带动整个半导体设备产业链的崛起。如果未来在深紫外（DUV）及极紫外（EUV）光刻机方面实现国产化突破，国内先进制程产线将具备逐步实现国产替代的能力，有望迎来新一轮的半导体扩产周期。因此，建议关注那些受到光刻机“卡脖子”问题影响的半导体制造、设备、零部件自主化替代相关公司，特别是与光刻工艺紧密相关的设备和零部件厂商。受益于国产光刻机的突破，国内先进制程扩产有望加速。

ASML北京设维修中心，本土采购利好国内厂商

ASML年度报告释放积极信号

2024年3月5日，ASML发布2024年度报告，主题为“携手推进技术向新”。报告中提到，计划于2025年布局北京维修中心，以缓解出口管制对中国大陆客户设备维护的压力，保障中国客户的维保和替代需求。

维修中心或将配套采购国产零部件

除了维修零部件之外，ASML此前已在国内组建了采购团队，旨在解决本地无法维修的零部件更换问题，其中包括部分零部件的本土化采购。此举意在确保客户设备的运转不受出口管制的影响。

中信证券认为，此举将减轻市场此前对光刻机断供维保的担忧。此外，预计新的维修中心将开始配套采购国产零部件，从而拉动国内光刻机零部件厂商的需求。

光刻机国产替代势在必行，市场信心增强

光刻机市场规模巨大，国产化率低

光刻机是半导体制造过程中价值量和技术壁垒最高的设备之一。根据SEMI数据，2024年全球光刻机市场规模超过230亿美元，其中ASML占据绝对领先地位。同年，中国大陆市场规模超过400亿元人民币，但中信证券测算，国产化率仅为2.5%。

技术差距与外部压力并存，国产替代成必然

目前，半导体制造工艺节点已缩小至5nm及以下，曝光波长逐渐缩短至13.5nm，光刻技术日趋成熟完善。然而，国产光刻机与海外先进水平仍存在明显差距。与此同时，美国对中国先进制程设备和技术实施严格限制，光刻机成为“卡脖子”的关键环节。

中信证券认为，无论当前国内光刻机的实际进展如何，国产高端光刻机的发展都将持续获得推动。国产光刻机及产业链将同步受益，市场信心也将持续增强。

ASML重视中国市场，国内扩产预期增强

中国大陆是ASML最大收入来源

2024年全年，ASML销售额达到282.63亿欧元，同比增长2.55%，创下历史新高。其中，来自中国大陆的营收为101.95亿欧元，占比约36.1%，是ASML最大的收入来源地。其次是韩国（22.7%）、美国（16.0%）和中国台湾地区（15.4%）。

ASML保障维保服务，利好国内晶圆厂扩产

ASML预计，2025年中国大陆市场的占比将趋于历史正常水平，收入将占公司总收入的20%左右，恢复到2023年以前的常态。鉴于中国大陆客户是ASML最大的收入组成部分，ASML持续保障中国客户的维保和替代需求。中信证券认为，这将进一步增强国内先进晶圆厂的扩产预期。

风险提示

需要注意的技术路线革新风险、先进技术创新不及预期风险、国际产业环境变化和贸易摩擦加剧风险、政策支持力度不及预期风险，以及下游需求波动等风险因素。

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